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客戶案例
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機(jī)械攪拌罐|反應(yīng)釜在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

客戶要求:

隨著中國(guó)“芯”計(jì)劃的確認(rèn),中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)引來蓬勃發(fā)展。客戶車間半導(dǎo)體產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中,對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境及品質(zhì)都有極高要求,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,環(huán)境中微粒對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能,塵埃粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等,所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對(duì)空氣中的微粒及浮塵都必須嚴(yán)格控制我公司自建的百級(jí)層流實(shí)驗(yàn)中心可以完全滿足客戶對(duì)設(shè)備潔凈等級(jí)以及設(shè)備表面顆粒數(shù)量的控制要求。


產(chǎn)品特點(diǎn):

罐內(nèi)拋光要求高,電解拋光精度<=0.2

引入日本進(jìn)口機(jī)械攪拌技術(shù),攪拌設(shè)計(jì)合理,有效降低機(jī)械磨損

專業(yè)攪拌支架及軸承設(shè)計(jì),有效隔絕軸承震動(dòng)對(duì)罐內(nèi)的影響。

進(jìn)口機(jī)械密封、防泄漏設(shè)計(jì),相比傳統(tǒng)設(shè)計(jì)防泄漏效果更佳,靜音效果更好

純化水清洗、無塵擦拭、無塵包裝,有效控制設(shè)備表面顆粒數(shù)。

使用“中央控制室”,實(shí)現(xiàn)投料、反應(yīng)、循環(huán)、出料、過濾、自動(dòng)SIP/CIP的集中式管理。